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画像処理
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広視野高分解能
最小欠陥サイズと対象ワークのサイズに応じて、最適な光学構成を提案し、広視野でありながら、ご要求の最小欠陥を検出できます。
16Kカメラを6台まで1システム、更にシステム数を増やすことで
大型基板など対応が可能です。
撮像結果から、表裏の判別や表裏欠陥基準を別々に設定することが可能です。例えば「ガラス表面のキズは厳しく、裏面のキズは緩くしたい」逆に「ガラス裏面の異物は厳しく、表面は緩くしたい」など
ご要求に対応することが可能です。
OCA,高機能フィルム、ガラスなどの透明の機能性材料において、検査目的である機能性材料そのものを対象とすることで、保護フィルム等の影響を受けることなく検査し、過検出を抑えることが可能です。
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