3Dプロファイル

​分割測定結合機能で広視野・高精度の測定を実現

広視野三次元測定装置

新製品XYステージ

​Model:VYA-1

微小な凹凸を高精度にしかも高速に計測したい!
​このような現場のニーズに応える3D測定装置を開発しました。

3D測定装置

複数台の高精度・超高速インラインプロファイルセンサーを使用し、

分割測定結合機能で広視野でかつ高分解能の3D測定を実現。

更にCADデータを取り込み照合・判別も可能にしました。

各種精密品のコプラナリティ検査にも最適です。

広視野3次元測定装置ー測定部

装置本体

測定部

新製品制御方式

Specification

装置基本仕様

センサヘッド:2ヘッド ※1

標準測定視野:500 [mm] x 500 [mm] ※2

X軸最小分解能:2 [μm]

Y軸最小分解能:10 [μm]

測定時間:30 [min] ※3

最大移動速度:300 [mm/s]

外形サイズ:1250[mm]x1000[mm]x1300[mm]

電源電圧:AC100V - 240V

※1 センサヘッド数は、1台 ~ ユニット追加でカスタマイズ可能です。

※2 測定を複数回行うことで視野を拡大することが可能です。
※3 測定分解能や視野に依存して測定時間は変化します。

2ヘッド設置例

センサ:2ヘッドの設置例

新製品

Measuring method

測定動作

スキャン方法

​図はセンサヘッドを2台組み込んだ時のスキャン方法を示しています。測定する対象物の大きさや、必要な測定時間によって、設置するセンサヘッドをカスタマイズすることが可能です。

新製品

Expansion capability

拡張性

拡張ユニット仕様

拡張ユニット仕様(OP-V39-HDNC)

拡張測定ユニット(OP-V39-HDNC)と組み合わせることで、ステージ搬送が難しいメートル級のワークで歪みの測定を行うことも可能です。

新製品オプション

  Usage example

ミクロンオーダーの精度が必要な3D寸法検査に最適です。平面度検査やCADデータとの比較検査など、様々な用途に応用が可能です。

使用例

① 半導体等の製品や精密治具測定
② OLED等の平面基板の形状測定
③ はんだペースト塗布検査
④ 各種印刷版の形状検査
⑤ 薄物金型形状検査
​⑥ 大型PCB基板の検査

3D Blueオブジェクト

導入後のサーポートは?

バリッジの検査装置は、

遠隔操作(リモートメンテ)による

装置の稼働状態、

検査ログなどモニターする遠隔モニター機能と

検査機の閾値調整や検出プログラムの修正を行う遠隔サポート機能を付与しています。

急なテスト条件の変更や修正、

新製品の立ち上げなど、

当社技術員が遠隔で対応できますので

出張対応でお待たせすることなく、

専門的な知識を持ったオペレータを育成する必要がなく、

リアルタイムにサポートが可能です。

リアルタイムサポート

お問合せ

​ご質問、ご相談は、バリッジへお問い合わせください。

​お電話・ホームページで承っています。

TEL:06-6302-9191